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Bei Saintech Ionenquellen handelt es sich um sogenannte "End Hall" Ionenquellen; gitterlose Ionenquellen. Die aus der Heizwendel austretenden Elektronen werden in Richtung der Anode beschleunigt. Ein hinter der Anode befindlicher Permantmagnet hält die Elektronen im inneren Bereich der Ionenquelle, in den Gas eingelassen wird, und erhöht dadurch die Ionisierungswahrscheinlichkeit und damit die Effizienz der Ionenquelle. Ein Plasma zündet.

Die so entstehenden Ionen werden aus dem Anodenbereich hinausbeschleunigt und bewegen sich zusammen mit Elektronen aus dem Filament in Richtung des gegenüber liegenden Substrats.

Vorteile von gitterlosen gegenüber Ionenquellen mit Gitter (Kaufmann Quellen)
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  • geringe Ionenenergien im Bereich 50-250eV
  • sehr hohe Ionenstromdichten bis 3mA/cm²
  • breite Verteilung
  • kein Neutralisierer notwendig
  • geringe Wartungskosten
 
 

Über PST

Die PST GmbH bietet Ihnen über den Vertrieb von hochwertigen Komponenten für Aufdampf- und Sputteranlagen hinaus umfassende Leistungen vor und nach dem Kauf an. Wir sind Ihr beratender Partner, wenn es um Umbauten Ihrer bestehenden Beschichtungsanlagen oder die Dimensionierung von neuen Anlagen geht. 

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