Spezial-Elektronenstrahlverdampfer

 

Elektronenstrahl-Verdampfer mit kontinuierlicher Materialzuführung „Rod-Fed“

Der Eintiegel-Elektronenstrahlverdampfer 272 kann mit der „Rod-Fed“ Option ausgerüstet werden. Hierbei wird Stangenmaterial kontinuierlich durch den unten offenen Tiegel nachgeführt. Die Stange kann gedreht werden, wobei die Rotationsgeschwindigkeit unabhängig von der Längsbewegung der Stange eingestellt werden kann.

Die Option ist für Produktionsanwendungen mit hohem Materialverbrauch für das Verdampfen von Metallen, Metalloxiden, Legierungen oder sublimierenden Materialien gedacht. Die Spezifikationen des Elektronenstrahlverdampfers entsprechen Modell 272. Standardmäßig kann Stangenmaterial mit 1“ oder 1,5“ Durchmesser und 13,5“ Länge eingesetzt werden.

Telemark Eintiegel- Elektronenstrahlverdampfer

 

Option zur Minimierung von Überschlägen bei höheren Drücken („Arc-Suppression“)

 

Typische „Arc-Suppression“ Konfigurationen

 

Die Option „Arc-Suppression“

 

- Betrieb bei Drücken > 5x10-3 mbar in O2

- keine Beeinflussung durch Ionenquellen oder andere Entladungen

- viele mögliche Tiegelkonfigurationen bis 6 x 100cm³

Ein Elektronenstrahlverdampfer mit Arc-Reduzierung eignet sich für viele Anwendungen, bei denen mit Gaseinlass gearbeitet wird, wie z.B. optische Beschichtung oder Ion-Plating. Die deutliche Reduzierung von Überschlägen führt zu einer besseren Schichtqualität, höherer Ausbeute und längeren Serviceintervallen.

Die Option ist für fast alle Telemark-Verdampfer erhältlich. Die Abmessungen ändern sich nur geringfügig, die Hochspannungsdurchführungen und -leitungen sind in einem Wellschlauch, der zur Verdampfer-Quelle führt, gekapselt und benötigen eine separate Wasserkühlung.

 

Tiegellose Elektronenstrahlquelle

Tiegelloser Elektronenstrahlverdampfer

 

Für alle Anwender, die Ihren eigenen Tiegel als Teil der gesamten Anlage nicht ändern wollen, bietet das Modell 263 eine kompakte und kostengünstige Lösung. Es wird so am Tiegel positioniert, dass der Elektronenstrahl die gewünschte Position im Tiegel trifft. Die Quelle kann bis 15kW betrieben und auch mit der Option für die Minimierung von Überschlägen ausgerüstet werden .

 

Kundenspezifische Elektronenstrahl-Verdampfer

Telemark baut seine Verdampfer nach Kundenwunsch auf spezielle Flansche, auch komplett mit sämtlichen Durchführungen.

Der abgebildete Verdampfer stellt ein typisches Beispiel für die vorhandenen Möglichkeiten dar.

Weiterhin können Tiegel nach Kundenwunsch mit Kombinationen von verschiedenen Napfgrößen geliefert werden. Wenn Sie einen besonderen Wunsch haben, schicken Sie uns bitte eine Anfrage.

Elektronenstrahlverdampfer 294

 

Selbst-dichtende Abdeckplatte

Für Mehrtiegelverdampfer ist optional eine selbstdichtende Abdeckplatte erhältlich. Sie verhindert die bei bestimmten Materialien (wie z.B .Gold oder Graphit) auftretende Kontamination von benachbarten Näpfen. Bei Drehung des Tiegels hebt sich die Abdeckplatte- angetrieben durch Kugellager im Tiegel- an und senkt sich wieder, sobald eine Napfposition erreicht ist. Hier liegt sie in Kontakt mit dem Tiegel und dichtet alle Näpfe hermetisch ab.