Telemark UHV-Elektronenstrahlverdampfer

 

UHV-Schiebetiegelverdampfer Modell 575/578

  • einbaufertig montiert auf einem DN 200CF Flansch mit allen Durchführungen (andere Flansche auf Anfrage)

  • automatischer Indexer als Option

  • Betrieb bis 10-11 mbar möglich

  • Maximale Frequenz der X-Y- Wobbelspulen ist 75Hz

  • neue Konstruktion, extrem robust

  • einfacher Betrieb und Wartung

  • Grundablenkung des Strahls erfolgt durch einen Permanentmagneten, ein Ausfall des Wobbelmoduls hat somit keine gravierenden Folgen

  • langlebige Heizwendel, 270° Strahlablenkung

  • einfacher Ausbau des Heizwendelblocks durch Lösen einer Schraube

Elektronenstrahlverdampfer Model 575/578

 

Anwendung

Die neuen 575/578 UHV-Elektronenstrahlverdampfer sind für Anwendungen in Forschung und Entwicklung geeignet, aber auch für Produktionsanlagen.

Mit seinen kompakten Abmessungen und der Möglichkeit bis zu fünf 15 cm³ oder bis zu vier 40cm³ Näpfe aufzunehmen und einer maximalen Strahlleistung von max. 10kW (abhängig von Material und Tiegel), ist er der vielseitigste UHV- Mehrtiegel- Elektronenstrahlverdampfer, der zur Zeit auf dem Markt ist.

Der Verdampfer zeichnet sich wie alle Telemark –Elektronenstrahlverdampfer durch ein erprobtes Design aus, das Telemark zum weltweit führenden Hersteller von Elektronenstrahlverdampfern gemacht hat. 

Übersicht
Spezifikationen     Modelle  
Strahlablenkung 270°   5 Näpfe à 4cm³ 575-01
Max. Leistung 8/10kW   4 Näpfe à 7cm³ 575-02
Max. Hochspannung -10kV   3 Näpfe à 15cm³ 575-03
Emissionsstrom 0-0.8/1A @-10kV   7 Näpfe à 4cm³ 575-04
Kühlwasser 6l/min   6 Näpfe à 7cm³ 575-05
Ausheiztemperatur 220°C   4 Näpfe à 15cm³      575-06
Distanz Flansch-Tiegelmitte     9 Näpfe à 4cm³ 575-07
575-01, 575-02, 575-03 279,4mm (11“)   7 Näpfe à 7cm³ 575-08
Alle anderen Modelle 355,6mm (14,5“)   5 Näpfe à 15cm³ 575-09
      2 Näpfe à 40cm³ 578-01
      3 Näpfe à 25cm³ 578-02
      4 Näpfe à 40cm³ 578-03
      4 Näpfe à 25cm³ 578-04
         

Kundenspezifische Konstruktionen, wie z.B.ein spezieller Flansch (DN 200CF ist die Mindestgröße) oder ein geänderter Abstand zwischen Dichtfläche und Tiegelmitte, Blendenantrieb oder Kaltdächer, etc, sind auf Anfrage erhältlich.

Wird ein DN 160CF Flansch benötigt, kann die Vorgängerversion Modell 568 geliefert werden. Bitte fragen Sie diesbezüglich an. Wir beraten Sie gerne.

Einen Prospekt mit den aktuell erhältlichen UHV-Quellen erhalten Sie hier.

 

Modell 508

Der UHV-Verdampfer zeichnet sich durch folgende Eigenschaften aus:

  • einfaches, preisgünstiges Design

  • Vakuum-gelötete Wasserleitungen erlauben den Einsatz bis 10-11 mbar

  • 1,5cm³ Napf- eine Wobbeleinrichtung wird nicht benötigt

  • 270° Strahlablenkung mit Permanentmagnet

  • ausheizbar bis 250°C

Übersicht
Spezifikationen                      Modelle  
Strahlablenkung 270°   Eintiegel 508 508-01
Maximale Leistung 3kW   Eintiegel 508 auf DN 40CF 508-02
Hochspannung -5kV      
Emissionsstrom bis zu 600mA @-5kV      
         

 

 

Eintiegel UHV-Verdampfer 218 und 259

Diese beiden Eintiegel UHV-Verdampfer sind ausheizbar bis 250°C. Die Wasseranschlüsse sind metallgedichtet, der Tiegeleinsatz in den Kanonenkörper hartgelötet und die Spulen sind in einem Edelstahlgehäuse gekapselt.

Modell 218 kann mit einem maximalen Tiegelvolumen von 15cm³ bestellt werden. Aufgrund seiner kompakten Abmessungen ist dieser Verdampfer ideal für kleinere Forschungsanlagen geignet. Die maximal mögliche Strahlleistung ist 6kW bei Hochspannungen von -6kV bis -10kV.

 

 

Eintiegel UHV-Elektronenstrahlverdampfer Modell 218

 

 

Modell 259 kann ein maximales Tiegelvolumen von 160cm³ aufnehmen und ist daher ideal für Produktionsanwendungen sowie MBE Prozesse geeignet, bei denen es auf lange Aufdampfzyklen ohne Unterbrechnungen  oder auf eine große abdampfende Fläche ankommt. Die maximale, materialabhängige Strahlleistung dieses Verdampfers beträgt 12kW bei Hochspannungen von -6kV bis -10kV.

Eintiegel UHV-Elektronenstrahlverdampfer Modell 259
Drehtiegel Elektronenstrahlverdampfer nahe UHV Modell 249

 

Drehtiegelverdampfer für das nahe UHV (bis 10-9mbar)

Verwendet man zur Abdichtung der Tiegelwelle statt eines konventionellen O-Rings eine Magnetflüssigkeitsdurchführung, kann ein Basisidruck im Bereich 10-9mbar erreicht werden. Ein Ausheizen der Kammer ist jedoch nicht möglich, da sonst die Magnetflüssigkeit verdampfen würde.

 

 

 

 

 

Standardmäßig werden folgende Quasi-UHV-Verdampfer angeboten:

Modell 249 (basierend auf 244/246) mit maximal sechs 7cm³ Tiegeln

Modell 269 (basierend auf 264/266) mit maximal sechs 15cm³ Tiegeln

Modell 279 (basierend auf 274/276) mit maximal sechs 25cm³ Tiegeln

 

Die Modelle in Klammern bezeichnen die Verdampfer ohne Magnetflüssogkeitsdurchführung, deren Spezifikationen ansonsten identisch sind.

 

 

 

UHV Elektronenstrahlverdampfer auf Flansch montiert
UHV Elektronenstrahlverdampfer auf Flansch montiert

 

 

 

 

UHV Verdampfer 508 auf Flansch DN63CF im Design einer Effusionszelle

Dieser Verdampfer lässt sich wie eine Effusionszelle von aussen in einen DN63 CF Port einbauen, sogar über Kopf, wenn es sich um ein sublimierendes Substrat handelt. Das Aufdampfmaterial kann hierbei duch eine Halterung gegen Herausfallen gesichert werden.