Telemark 861 Deposition Controller

A pin-to-pin compatible replacement for Maxtek 360 (Maxtek MDC 360 deposition controller) and Telemark 860 / 880 deposition controller.
Telemark 861 Deposition Controller

 

 

 

 

 

 

A direct pin-to-pin compatible replacement for Maxtek MDC 360 and Telemark 860 / 880

  • High frequency internal reference oscillator provides <0.01A resolution for aluminum
  • Operates with 5 MHz or 6 MHz crystals
  • All new innovative crystal oscillator design for outstanding stability and noise immunity
  • Extensive materials library, also allowing for user definable materials
  • Color LCD touch screen for graphical and numerical display of primary real-time process data, providing an intuitive and user friendly operator interface
  • Touch screen capabilities:
    • In-process parameter modification
    • Process and Layer editor
    • I/O status and control
    • Real time graphical display of: Power v/s time, Rate v/s time, Rate deviation v/s time
  • All system, film and setup files may be saved via a front panel USB port, as well as uploaded to instrument
  • Can accomodate up to 99 processes of 999 layers each
  • Standard unit has 2 crystal sensor inputs and 2 isolated rate control analog output drivers, expandable to 4 each
  • 8 relay isolated outputs and 8 optically isolated inputs (for both active and passive mode), with the option to upgrade to 16 ea. (Telemark 880 configuration) or 32 ea. (Maxtek 360 or Telemark 860 configuration)
  • Specifications
    • Sensor Crystal Frequency:    5 or 6 MHzResolution:                               <0.02Hz (<0.01A for Al @ 6MHz)
    • Accuracy:                                   +/- 0.5% thickness
    • Thickness Display:                  0.000-999.9 kÅ
    • Power Display:                         0.00-999 Å/s
    • Rate:                                           0.00-999 Å/s
    • Measurement Update:            10 per second
    • Control signal Update:            10 per second
    • Inputs:                                         8 optically isolated, active (4 to 24V DC                                                                             or AC), or passive (contact closure)
    • Outputs:                                      8 relay contacts NO/NC @ max                                                                                           1A, 24 V DC or AC
    • Analog Outputs:                         0-5VDC or 0-10VDC (either polarity)
    • Power Input:                               90-260VAC, 50-60Hz

 

 

 

Schichtdickenmessgeräte

Aufdampfsteuergerät Modell 880

Das Telemark Aufdampfsteuergerät Modell 880 verfügt über einen Touchscreen zur Programmierung und Anzeige der wichtigsten Prozessparameter und graphischen Anzeige von Zeitabläufen  sowie zusätzlich über drei sehr gut sichtbare LED Anzeigen für Rate, Leistung und Schichtdicke. 

Vier Steckplätze für I/O Karten stehen zur Verfügung. Standardmäßig ist eine Eingangskarte mit 8 optisch entkoppelten Eingängen und eine Ausgangskarte mit 8 Relaisausgängen vorhanden. Zwei weitere Karten (wahlweise Aus- oder Eingänge) können nachträglich eingebaut werden. Weiterhin gehört zum Lieferumfang eine Quellensteuerkarte mit zwei BNC-Anschlüssen für Quarzmessköpfe und zwei Analogausgängen (+/- 2,5V, 5V oder 10V, gegen Masse) zur Steuerung der Quelle.

Der Betrieb von bis zu vier Quellensteuermodulen ist möglich, die einzelnen Quarze können gewichtet werden um eine durchschnittliche Rate oder Schichtdicke zu ermitteln Dies ist speziell bei großen Substraten von Vorteil.

Ein- und Ausgänge sind sehr komfortabel programmierbar, es können gepulste Signale erzeugt, Zähler und Timer aktiviert, Drehtiegel positioniert und zu beliebigen Zeiten während des Prozesses Geräte ein- und ausgeschaltet werden. Das Gerät findet daher auch Einsatz als preiswerter Controller um komplette Aufdampfprozesse zu steuern.

Die mitgelieferte Labview Software ermöglicht die Programmierung des Gerätes am PC oder Laptop.

 

Die wesentlichen Merkmale im Überblick:

  • modernste Mikroprozessor-Technologie ermöglicht Messung in konstanten 100ms Intervallen
  • extrem umfangreiche und flexible Programmierung der Ein- und Ausgänge
  • 999 Filme mit bis zu 99 verschiedenen Materialien können in Prozessen im Gerät gespeichert werden
  • 2 Eingänge für Quarzmessköpfe sind Standard. Der Betrieb eines Doppelmesskopfes mit automatischer Umschaltung bei Ausfall des ersten Quarzes ist ohne Zukauf von Optionen möglich
  • RS-232 Schnittstelle
  • Durchschnittsbildung von bis zu drei Messköpfen für die Beschichtung von sehr großen Substraten
  • Touchscreen und LED Anzeige
  • Bis zu 32 frei programmierbare Ein- oder Ausgänge
  • 4 programmierbare Tasten mit LED Anzeige
  • Messbereich für die Schichtdicke: 500kÅ für Aluminium
  • Messbereich für die Rate: 0 bis 999.9Å/s
  • Eingänge optisch entkoppelt, 5-24VDC oder Schließung eines Kontaktes
  • Relaisausgänge 1A@24VDC max.
  • Quellen-Steuerausgang +/- 2.5V, 5V oder 10VDC@10mA
  • Ausgang für Screiber 0-10VDC
  • RS-232 Schnittstelle, Telemark oder ASCII-Protokoll
  • Einbaumaße 2HE (3.5"), Schaltschrankbreite
  • Anschluss 90-264VAC, 50/60Hz

 

 

Zubehör für alle Geräte

Wir führen Einschubkarten für die verschiedenen Geräte, Quarzmessköpfe für HV und UHV, mit oder ohne Blende, in Standardausführungen und nach Kundenwunsch gefertigt. Weiterhin liefern wir Messkopfdurchführungen, Messquarze und vieles mehr.

Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Details.

Prospekte können Sie im Downloadbereich herunterladen.

 

Messquarze

Wir können Ihnen 6 MHz Messquarze, goldbeschichtet, zu aussergewöhnlich günstigen Preisen anbieten. Es handelt sich hierbei um einzeln getestete Qualitätsquarze mit Haftschicht zwischen Goldelektrode und Quarzkristall. 

Mindestabnahmemenge: 1 VE (10 Stück). Preise auf Anfrage.