Angstrom Sciences Magnetron Sputtering Technologie und Sputter Materialien

Angstrom Sceinces Magnetron Sputter Technologie

Die PST GmbH bietet Service und Vertrieb für Magnetron Sputter Equipment des US Herstellers Angstrom Sciences. Seit 1988 steht Angstrom Sciences für qualitativ hochwertige und innovative Sputter Magnetrons und Sputter Targets. Durch eine starke Fokussierung auf Forschung und Entwicklung konnte Angstrom Sciences schnell einige technische Vorteile entwickeln und patentieren. So verfügen Angstrom Sciences Sputter Magnetrons über ein optimiertes magnetisches Design, eine optimierte Wasserkühlung und ein patentiertes Montagesystem.

Profitieren auch Sie vom Angstrom AdvantageTM.

Schicken Sie uns Ihre Anfrage, wir beraten Sie gerne!

 

Sputter Magnetron Technologie von Angstrom Sciences

Sputter Magnetron Technologie von Angstrom Sciences

Sputter Magnetrons von Angstrom Sciences wurden konstruiert, um eine bestmögliche Verteilung, Targetnutzung und Rate zu erzielen. Diese Vorteile werden unter anderem durch ein spezielles Design der Magnete und des Kühlwasserflusses erzielt. Durch den Angstrom AdvantageTM bieten Angstrom Sciences Sputtermagnetrons jedoch noch weitere Vorteile.

 

Vielseitiges, kompaktes Design

ONYX® Magnetron Sputterquellen von Angstrom Sciences sind sehr kompakt und speziell für den Einsatz in komplexen "Multi-Kathoden-Anordnungen" konstruiert. Durch das vielseitige Design sind ONYX® Sputter Magnetrons von Angstrom Sciences die erste Wahl für System Aufrüstungen und Retrofits.

 

Kompatibel zu allen Stromversorgungen

Niederimpedanz Magnetron Sputter Quellen sind kompatibel zu RF, MFDC, DC (und gepulste DC), und HPIMS Generatoren.

 

Standard Fittings

Angstrom Sciences Sputter Magnetrons werden mit ISO NW Conflat® Flanschen ausgeliefert. Sämtliche Medien werden atmosphärenseitig über Klemmringverschraubungen angeschlossen.

 

Hohe Leistungsdichte

Sputter Magnetrons von Angstrom Sciences arbeiten in einem Druckbereich von 10-4 mbar und liefern eine Leistungsdichte von 30W/cm2. Durch die hohe Leistungsdichte lassen sich sowohl Verteilung als auch Targetnutzung optimieren, ohne die Rate zu beeinflussen. Profitieren auch Sie von diesem Vorteil der Angstrom Sciences ONYX® Magnetron Sputter Technologie.

 

Gleichmäßige Verteilung

Standard ONYX® Magnetron Sputter Kathoden liefern Gleichmäßigkeiten im Bereich von ±3 bis ±5 %. Ferner bietet Angstrom Sciences kundenspezifische Magnetrons und Magentron Anordnungen an, um Ihren Spezifikationen gerecht zu werden. Teilweise werden, mit ONYX® Sputter Magnetrons von Angstrom Sciences, Gleichmäßigkeiten von ±0,1 % erreicht .

 

Prozessreinheit

Magnetron Sputter Quellen von Angstrom Sciences sind mit einem zusätzlichen Anodenschild ausgestattet. Dieser Schild verringert den Abstand zwischen Kathode und Anode, wodurch die Sputter Magnetrons mit niedriger Spannung arbeiten. Der Schild verhindert ebenfalls Schmutzeintrag in den Bereich zwischen Anode und Kathode. Dadurch werden Kurzschlüsse und Überschläge verhindert.

 

Sämtliche Baugrößen und Formen

Angstrom Sciences Rundmagnetron Sputterquellen Durchmesser 1"(25,4mm)-16"(ca. 660mm).

Planare Rechteckmagnetrons 1.5"(ca.38mm) bis 12"(ca. 305mm) Tiefe, 1" (25,4mm) bis 13ft (3962mm) Länge.

Zylindrische Magnetrons bis zu einem Durchmesser von 6"(ca. 152mm)

 

Ihr Anspruch ist unsere Verpflichtung

Magnetron Sputter Kathoden sind die Kernkompetenz von Angstrom Sciences. Dadurch sehen wir uns verpflichtet, Ihnen das qualitativ hochwertigste Magnetron Sputter Equipment im Markt anzubieten. Auf jede ONYX® Magnetron Sputter Quelle erhalten Sie 2 Jahre Garantie auf Verarbeitungs- und Materialfehler. Das ist die längste Garantie in der gesamten Branche.